PLD

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超高真空PLD




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氧化物PLD


设备功能：生长氧化物、合金及金属薄膜、异质结和超晶格

设备简介：准分子激光器PLD设备主要用于超晶格及界面精细结构薄膜生长，超高真空PLD设备用于合金及金属薄膜生长，氧化物PLD设备用于氧化物薄膜及异质结生长。这些PLD设备可以实现从金属、合金到氧化物等各种类型薄膜、异质结和超晶格的生长，为ARPES和STM及其它实验研究提供样品保障。